中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEエッチャー/アッシャーは、エッチングおよびアッシングにおける半導体アプリケーション向けに設計された、高性能で自動化されたプロセスツールです。これは、金属エッチング、異方性ケイ酸塩エッチング（ASE）、形成による進行、および誘電性アッシングプロセスで優れた結果を達成するために使用されます。LAM RESEARCH TCP 9600SEには専用のリモートビジュアルモニタリングシステムが装備されており、ユーザーは遠隔地からのプロセス結果を監視および評価することができます。その高度な物理蒸着（PVD）源は、より良いフィルムの均一性とより大きなプロセス制御を可能にします。TCP 9600 SEには流体力学的プラテンが含まれており、より高速で正確な結果とプロセスのスループットの向上を可能にします。これは、統合された3ゾーン分離システムによって補完されます。高圧、低温、加圧ポリマートレイ。そしてユーザーがより高いエッチング率を達成することを可能にする加熱されたエッチモジュール。さらに、TCP 9600SEには、多機能バルブブロックや統合真空システム、ウェーハトラッカー、RFジェネレータなど、多くの内部ツールと機能が組み込まれています。これらの機能はすべて、LAM RESEARCH TCP 9600 SEを市場で最も強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーシステムの1つにします。