中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095944 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、正確で再現性のあるプロセス結果を提供するユーザーフレンドリーで信頼性の高い機器です。9600 SEは、医療、自動車、太陽、メモリチップの製造など、さまざまなプロセスでウェーハを効率的にエッチングおよびアッシングするために設計されています。このシステムには、信頼性の高いガス混合制御ユニット、2つの加熱石英サセプター、および直感的なユーザーインターフェースが装備されています。9600 SEを使用すると、幅広い一般的なエッチングおよびアッシング作業を正確かつ効率的にエッチングおよび処理できます。TCP 9600 SEには、1000°Cまでの温度と750ミリバー（mbar）の最大プロセス圧力を生成する暖房機があります。このツールには、幅広い温度とプロセスを正確に実行できる2つの石英サセプターが装備されています。また、高度なセンシングアセットを備えており、電流温度、プロセス圧力およびその他のパラメータを正確に検出できます。TCP 9600SEは高度にカスタマイズ可能であり、ユーザーは特定のアプリケーション要件に合わせて独自のプロセスレシピを作成できます。このモデルは、ドライエッチングやウェットエッチングなど、さまざまなエッチング処理にも対応できます。さらに、LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、安全性と信頼性を念頭に設計されています。これは、一貫した実装圧力、温度、およびプロセスフローを維持するのに役立つ包括的な監視装置を装備しています。また、プロセスの精度を維持するために、セルフチェックチャンバー、インターロック、イオンチャンバー圧力制御など、多くの保護機能を備えています。最後に、LAM RESEARCH TCP 9600SEは使いやすく、パラメータやプロセスを簡単に選択できるシンプルなユーザーインターフェイスを備えています。システムのすべての要素は、ユーザーによって調整および監視することができ、ユーザーは後で使用するためのレシピを保存およびロードすることもできます。TCP 9600 SEは、信頼性が高くユーザーフレンドリーな機能を備えており、半導体加工に最適なエッチャーおよびアッシャーです。