中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095943 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、プラズマベースの材料エッチング用に設計された高精度エッチャー/アッシャーです。その高度な機能により、プロセスパラメータを正確に制御できるため、研究、開発、量産に最適です。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、高解像度の薄膜エッチングを提供し、幅広い業界の高度なアプリケーションのニーズを満たすように設計されています。超高速速度、精密制御、正確なパターニング機能により、研究や最新の製造に最適です。この装置は、乾式プラズマ動作を使用し、低圧または大気、光学または誘導、および広い面積またはギャップフィルを含む複数のプロセスをサポートします。自動化されたウェーハローディングシステムにより、ユーザーはバッチ間のプロセスパラメータを迅速かつ簡単に調整できるため、手動操作に伴うダウンタイムとコストを削減できます。このユニットはまた、グリッドダイシングとフォルト検出により、高度なプロセスモニタリングを統合し、比類のないプロセスコントロールを実現しています。オートチューニング機能により、再現可能な結果を得るためのプロセスパラメータを細かく反復的に最適化できます。また、TCP 9600 SEは優れた熱管理を提供し、放熱を支援し、過度の温度による機械内の部品の損傷を防ぎ、精度と精度を向上させます。内蔵の安全機能は、過電圧や電流、高温、ほこりやガスの蓄積などの潜在的な危険からツールとオペレータを保護します。アセットは、110/220-V AC電源ライン上で動作するように設計されており、クラス10/ISO 4クリーンルームで動作することができます。TCP 9600SEは、最新のエッチングアプリケーションに関連するさまざまな課題に対処し、優れた性能と精度を提供します。その堅牢な設計、信頼性、精度により、数多くの産業用エッチング用途に最適です。