中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、高性能イオンエッチング（RIE）およびアッシャー装置で、タイトな寸法制御とプロセスの均一性を提供するように設計されています。このシステムは、大量の統合されたプロセスチャンバーと自動ロードロックを備えているため、大量生産のための費用対効果の高いソリューションとなります。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、高度なプロセス制御、複数のプロセスレシピ、自動化されたサブシステムを備えており、大量の製造アプリケーションの信頼できるパートナーとなっています。TCP 9600 SEは、高度なプロセスチャンバーを備えており、高エッチング率と優れたプロセス均一性を提供するように設計されています。広々としたチャンバーにより、プロセスのスループットが向上し、コストが削減されます。このユニットはまた、急速なサンプル積載を可能にするように設計された完全に統合されたロードロックマシンを備えています。TCP 9600SEには、高速で自動化されたウェーハキャリアとハンドリングツールも含まれており、エッチングおよびアッシングプロセス全体で優れたウェーハ保護を保証します。LAM RESEARCH TCP 9600 SEには高度なプロセス制御アセットが搭載されており、プロセスの均一性と再現性を最適化するための精密なレシピ制御が可能です。このモデルは複数のプロセスレシピを提供しており、ユーザーは特定のアプリケーションのエッチングとアッシングプロセスをカスタマイズできます。LAM RESEARCH TCP 9600SEのプロセス制御装置は、エッチングの均一性を最大化するために、ウェーハの平坦性も考慮しています。TCP 9600 SEは、光学アライメントや分光放射測定など、さまざまなin-situモニタリングおよび計測機能を備えています。このシステムはまた、ユーザーがプロセスパラメータを監視し、調整することができますタッチスクリーンとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。TCP 9600SEは、利用可能なエッチングおよびアッシングケミストリーの大部分と互換性があるように設計されており、迅速かつ再現可能なサンプル読み込み用のロードロックおよびウェハハンドリングコンポーネントなど、幅広いアクセサリが付属しています。全体的に、LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、高いプロセススループット、タイトな寸法制御、優れたプロセス制御と均一性を提供する高度なエッチングおよびアッシングユニットです。完全に自動化されたロードロックマシン、複数のプロセスレシピ、およびin-situ計測機能により、大量の産業アプリケーションの信頼できるパートナーとなります。