中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、重要な表面処理とデバイス処理を可能にする高度なエッチャー/アッシャーです。この高度なエッチングおよびアッシング装置は、生体汚染リスクを最小限に抑え、全体的なスループットとプロセス制御を最高レベルで実現するために設計されています。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、RTP、エッチング、脱酸、拡散プロセス、プラズマアッシングなど、さまざまな用途に適しています。TCP 9600 SEは、4つの独立制御チャンバを備えた単一のハウジングで構成されています。各チャンバーには、プラズマ源、シールドハードウェア、プライベートウェハリフト、大気パージングコントロールパネルが含まれています。このシステムはまた、温度制御されたハッチを備えており、ほこりを含んだ環境を作り出します。一度に最大10個のウエハを加工でき、直径200mmまでのサイズにすることができます。ユニットは、個々のアプリケーションのニーズを満たすために個別に調整することができ、いくつかの高度なエッチングとアッシングプロセスが装備されています。これには、高度なプラズマ制御技術が含まれており、敏感なチップ領域への直接堆積を避け、均一な堆積率を維持します。レーザー支援エッチングとアッシングだけでなく、高度な冷却システム。これらの技術により、機械は優れた精度のエッチングと灰の結果を提供し、温度も制御し、アンカーレスのアニール環境を作り出すことができます。このツールはまた、汚染の問題からウェーハ保護、エッチングと灰のレシピの最適化、エンドポイントとプロセス結果の品質の監視を可能にする高度なアルゴリズムを備えています。レシピ開発は、プロセスの再現性と品質を最大限に高めるために最適化されています。全体として、TCP 9600SEは強力なエッチングと灰の資産であり、さまざまなアプリケーションで優れた結果を提供できます。プラズマ制御、レーザーアシストエッチング、高度な冷却システムなどの高度な機能により、精度と品質のエッチングとアッシングの結果を提供することができます。装置は使いやすく、維持し、そして最もよい全面的な処理の結果を提供するように設計されています。