中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、高速プロセス用に設計されたエッチャーまたはアッシャーであり、ウェットベンチ技術の一種です。このエッチャーは、プラズマエッチングやアッシングなどのプロセスを1つのチャンバーで実行でき、エッチングおよびアッシングされた材料は同じプラットフォーム上で個別に提供されます。9600 SEは、5ミクロン/分の標準エッチング速度と最大100ミクロン/分のアッシング速度を提供します。プラズマエッチャーは、エッチングまたはアッシュされる材料の均一性を確保するために、低周波誘導アシストプロセスと一貫した流量を使用します。ユニットには、プラズマ生成プロセスの制御を担当する高度な組み込みコントローラがあります。コントローラは、一貫したエッチングまたはアッシングプロセスを確保するために、温度、圧力、およびその他の条件をフィードバックする一連のセンサでユニットに接続されています。コントローラはまた、プラズマプロセスの自動動作を提供し、エッチングまたはアッシングプロセスで使用されるパラメータを監視することができます。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、他のウェットベンチベースのエッチングまたはアッシングシステムと比較して使いやすく、維持しやすいように設計されています。このユニットは人間工学に基づいて設計されており、さまざまなユーザーニーズに対応できる高さを簡単に調整できます。9600 SEは、エッチングパラメータとアッシングパラメータを入力するための直感的なユーザーインターフェイスも備えており、設定や操作を素早く調整できます。エッチャーまたはアッシャーはステンレス製のチャンバーで構成され、一貫した信頼性の高い洗浄が可能です。チャンバーは、一貫したエッチングまたはアッシング温度を維持するために可変電力で加熱されます。エクステンションベルは、余分なエッチングや余分な材料が必要なアシングボールを追加することができます。TCP 9600 SEは、エッチングまたはアッシングプロセスに起因する危険な発煙を捕捉するために、多機能の発煙フードを装備しています。フードは容易に調節可能であるように設計されています、さまざまな危険な材料の収集の必要性に合うようにさまざまな気流の構成を提供します。全体的に、TCP 9600SEは、効率的で費用対効果の高い操作のために設計された効果的なウェットベンチベースのエッチャーまたはアッシャーです。このユニットは、高速プロセスを必要とし、使いやすく、エッチャーまたはアッシャーを維持したい人にとって信頼できる選択肢です。