中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293636060 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、優れたエッチング性能と高い生産性を実現するために設計された先進的なプラズマエッチング装置です。チャンバー全体の長さは73インチで、最大6インチの片面および両面ウェーハを取り扱うことができます。チャンバーは真空密封されており、エッチング工程中に基板の負荷を制御するための水平エッチングゾーンと絶縁ゾーンが含まれています。また、ウェーハの作業環境を最適なレベルで維持する温度制御チャンバーを備えています。LAM RESEARCH TCP 9600SEには、完全に統合されたマルチツール/ステーション、350ボルトのメインパワーパネル、および柔軟な輸送経路とプロセスガス配送（N2、 H2、 Ar）を提供するさまざまな外部マニホールドが装備されています。また、高解像度の誘導結合プラズマ源を使用しており、高エネルギー密度プラズマに優れたパワーレギュレーションを提供し、プロセス制御の向上とエッチング品質の向上を実現しています。さらに、TCP 9600 SEには統合されたソフトウェアスイートが付属しており、ツールを直感的に制御でき、エッチングサイクルの持続時間やプラズマパワーレベルなどのプロセスパラメータを変更できます。また、自動速度や距離制御、真空運転用のリモートエジェクターステーション、正確なエッチングのための自動基板登録など、多くの自動化された機能が含まれています。TCP 9600SEは、プラズマ圧力制御や自動緊急遮断などのさまざまな安全機能も備えており、人員や機器の安全性を確保しています。