中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293595662 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEエッチャー/アッシャーは、シリコン、金属、セラミックスなどの幅広い基板のエッチングとアッシングに最適な、信頼性の高いユーザーフレンドリーなシステムです。集積回路と高度なパッケージングアプリケーションの両方と互換性のある高品質で機能豊富な部品を生産することができます。LAM RESEARCH TCPの高度な機能9600SE、信頼性の高い強力なパフォーマンスと簡単に組み合わせて、優れた結果を生み出します。TCP 9600 SEには、エッチング機能とアッシング機能の両方を提供するデュアル機能チャンバーが装備されているため、機能間の素早いジャンプに最適です。また、複雑なエッチング基板でも、迅速かつ安定したアッシングを可能にする2段階の攪拌を備えています。TCP 9600SEは、最大8つのプログラマブルレシピステップとさまざまなプラズマアクチュエーションモードを備えた高度なプロセス制御を提供し、プロセスの柔軟性を高めます。自動モニタリングシステムは、正確なレシピの製造を保証し、組み込み安全機能を備えています。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、クリーンルーム操作に適しています。また、低eV酸化物ストイキオメトリーと低粒子レベルの表面の調製を可能にする、受動化機能を提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEはディープトレンチをエッチングするのと同様に可能であり、その高度なフッ素化プロセスは誘電体を正確に除去し、粉塵粒子を効果的に除去することができます。TCP 9600 SEには便利なタッチスクリーンが装備されており、12インチまでの基板を扱うことができるため、現代のエッチングプロセスのニーズに応えます。また、高精度な温度・圧力制御を実現し、低損傷を実現する各種基板に最適なプロセスを実現します。自動化されたプロセスレシピは一度だけ指定する必要があり、面倒なセットアップとアライメントの手順は不要です。TCP 9600SEは、1つの中央ソフトウェアプラットフォームからすべてのプロセスステップと結果データを管理し、プロセスレシピ、診断、サービス、およびテクニカルサポートの完全なトレーサビリティを提供します。そのため、高度な半導体およびパッケージング用途で使用するために、大量の高品質の部品を効率的に生産するための理想的な選択肢です。