中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体デバイス、MEMS、およびその他の部品に使用されるマルチチャンバーエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、重要な部品の精密なエッチングとアッシングを可能にする3チャンバー設計を備えています。各部屋の温度は均一な温度を保障するために制御することができプロセスパラメータは使用されるさまざまな基質のために調節可能です。統合された精密ハンドリングユニットは再現性のある結果を保証し、高効率の粒子状空気（HEPA）フィルターによって機械の清潔さが保証されます。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、エッチングとアッシングプロセス全体で一貫したガスの流れを提供する信頼性が高く、安全で効率的なツールです。また、均一なエッチング/アッシングパターンを提供することができる調整可能な流量を備えたクォーツシャワーヘッドが含まれており、サイズ、パターン、プロセスパラメータを迅速かつ簡単に設定するために使用できる自動校正アセットがあります。TCP 9600 SEのチャンバーは、ステンレス鋼で構成され、低圧、高速ガスシャワーを提供するエンタルピー送風機で構成されています。ガスシャワーは、エッチングおよびアッシング製品を均等に分配し、部品を汚染から保護するために使用されます。このモデルにはドライリングとウェットリングの真空装置も含まれており、エッチングとアッシングプロセス全体で一貫したチャンバー圧力と温度を保証します。TCP 9600SEは、さまざまな基板構成で使用するために設計されています。これは、アルミニウム、シリコン、ガラス基板だけでなく、ステンレス鋼、白金、タングステン、ハードゴールドなどの他の材料と互換性があります。高密度ポリエチレン、ポリイミド、カプトンなどの他の基板もシステムに使用できます。ユニットは簡単なメンテナンスと修理のために設計されており、オペレータが最大の稼働時間を確保するためにマシンのパフォーマンスを監視することができるソフトウェアパッケージが含まれています。LAM RESEARCH TCP 9600 SEはリモートモニタリング機能も備えており、技術者はデータにアクセスし、必要に応じて調整を行うことができ、標準プロセスを迅速に選択して実装できるレシピライブラリにアクセスできます。結論として、LAM RESEARCH TCP 9600SEは、部品のエッチングとアッシングに最適な効率的で正確な機械です。高度な温度制御、精密処理システム、均一なガス配分、カスタマイズ可能なソフトウェアにより、半導体デバイス製造に最適なツールです。