中古 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 CFEは、LAM RESEARCH Corporationが開発した高度なエッチャー/アッシャーです。エッチング・アッシング技術の最新技術を取り入れた装置です。超高生産性設計で、高速で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを容易にする使いやすいプラットフォームを提供します。LAM RESEARCH TCP 9600CFEは軽量ですが、クローズドループ、低圧動作により耐久性が高く、一貫性のあるエッチングとアッシングプロセスを実現します。基板の広い範囲にわたって非常に均一な蒸着を持っており、3つのカラービデオカメラのネットワークを介してソリッドステート光デジタルエミッション制御を備えています。このデジタルエミッション制御システムは、一貫した信頼性の高い結果を保証するのに役立ちます。TCP 9600 CFEには、高度なプラズマトーチ技術を活用した3つの高効率電気光学ヘッドが搭載されており、最高品質のエッチングおよびアッシングプロセス用のイオンビーム抽出ユニットを備えています。これにより基板の劣化を最小限に抑え、ファインラインエッチングと高アスペクト比アッシングを実現します。TCP 9600CFEは、シングルウェーハまたはバッチ処理に対応し、効率的なウェーハとウェーハの同期を提供するためにアップグレードすることができるスケーラブルなモジュラープラットフォームです。また、多位置基板の位置決めも可能で、ガス配送や排気などの他のサポートシステムと容易に統合できます。全体として、LAM RESEARCH TCP 9600 CFEは、LAM RESEARCH Corporationによって設計および製造された高度なエッチャー/アッシャーです。幅広い基板と3つの高効率エレクトロオプティックヘッドに均一な成膜を施した軽量で耐久性に優れた機械です。また、シングルウェーハまたはバッチ処理に対応するためにアップグレードすることができ、ガス供給や排気などの他のサポートシステムと容易に統合することができるスケーラブルでモジュラープラットフォームです。