中古 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809931 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 CFEは、半導体製造プロセスのウェーハ加工に使用されるエッチャー/アッシャーです。これは、スループットを損なうことなく、高品質のウェーハ処理を実現するように設計されたエッチャーおよびアッシャーのTCPファミリの一部です。LAM RESEARCH TCP 9600CFEは、高速チャンバーを提供し、自動ウェーハトラッキング、およびエッチングとアッシングレシピの精密なチューニングを可能にする洗練されたチャンバー伝導機能を備えています。これにより、ウェーハ上に作成された薄膜構造の優れた制御と均一性を可能にします。TCP 9600 CFEチャンバーは、ポリシリコンから低k誘電体まで、幅広い材料を処理できるさまざまな調整可能なパラメータを備えています。このチャンバーはまた、高いエッチング速度を可能にする大規模で均質なプラズマチャンバーを備えています。チャンバーには2つの別々のエッチャーとアッシャーがあり、2つの異なる材料を同時に処理できます。また、高度な自動化と精密温度制御を備えているため、精密で一貫したエッチング結果が得られます。TCP 9600CFEエッチャー/アッシャーは、最先端のラムワッシャーシステムと組み合わせて使用するように設計されています。ラムワッシャーシステムにはメモリ、診断、トラブルシューティング機能が内蔵されているため、高密度薄膜層の一貫した信頼性の高い処理に優れたソリューションです。LAM RESEARCH TCP 9600 CFEは、ウェーハ上で発生する薄膜構造の均一性に優れ、高いスループットと再現性を実現する優れたツールです。高度な自動化、高精度温度制御、および幅広い加工可能な材料により、高密度層をエッチングまたはアッシュする必要がある半導体デバイス製造などのアプリケーションに最適なソリューションです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと信頼性の高いパフォーマンスにより、高品質のエッチングとアッシング結果を必要とするユーザーに最適です。