中古 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体製造設備で使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、純度と反応性のレベルが異なるシリコンウェーハのエッチングと灰の層に使用されます。LAM RESEARCH TCP9600は、温度、大気、圧力の広い範囲で動作可能な特定のタイプの化学蒸着（CVD）エッチャー/アッシャーです。TCP-9600は、水素や乾燥酸素を含むさまざまな化学物質を使用して、純度と反応性の異なるレベルのシリコンウェーハをエッチングおよび灰にします。TCP 9600エッチャー/アッシャーは、2つのモードのエッチング/アッシング操作を利用した2 チャンバーCVD装置を使用しています。ウェットエッチング/灰モードでは、エッチング室に酸素アルゴン水素（O-A-H）ガス混合物を注入し、プロセス全体で酸素濃度を一定に保ちます。エッチング/アッシングのこのモードは、エッチング/アッシングされたレイヤーの純度を維持するのに役立ちます。乾燥エッチング/灰モードでは、酸素濃度はかなり一定に保持されますが、プロセスチャンバーには水素と窒素のさまざまな混合物が適用されます。このモードは、エッチング/アッシング速度を増加させ、エッチング/アッシングされたレイヤーの純度をさらに高めます。処理速度は、プロセス温度、圧力、大気、ガス流量、ガスの種類など、いくつかのパラメータに依存します。LAM RESEARCH TCP-9600エッチャー/アッシャーには、アクティブな真空システムと複数のプロセスプロトコルが含まれており、ユーザーはタイトな範囲でプロセスパラメータを維持することができます。リモートコントロールユニットと超高精細光学を内蔵することで、正確なプロセス制御と監視が可能になります。さらに、エッチャー/アッシャーTCP9600は、プロセスガスの漏れを防ぐための予防機構、プロセスチャンバー上の4つの別々の温度センサー、プロセスチャンバーの圧力を調節する圧力機械など、さまざまな安全システムが組み込まれています。LAM RESEARCH TCP 9600エッチャー/アッシャーは、現在市販されている最も信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーシステムの1つです。半導体製造アプリケーションに優れ、幅広いパラメータで正確な制御と繰り返し可能なエッチング/灰レートを提供します。