中古 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9408 SEは、信頼性の高いエッチング、アッシング、および結合されたエッチング/灰プロセスを提供する高度な熱制御装置を備えた精密エッチャー/アッシャーです。このシステムは、純粋な水で機械的衝撃、フラット、すすぎを軽減するために水平シリコン化されたチャンバー壁を備えています。操作を大幅に簡素化するユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。このユニットは、金属、シリコン、セラミック、ガラスなど、さまざまな基板を処理するために設計されています。TCP 9408 SEには、一定の圧力と温度制御を提供するヘリウムフラッシュガスマシンがあります。このツールは、最大スループットを目指して設計されており、プロセスのサイクルタイムが速く、1時間あたり最大14チャンバーサイクルです。エッチング/アッシュ処理時間は、基板タイプとプロセスパラメータに応じて5〜7分です。さらに、アセットには最大5つのプロセスレシピがあり、ユーザーはさまざまなアプリケーションのレシピを保存してリコールできます。LAM RESEARCH TCP 9408 SEは、より大きな部品とより高いエッチング/灰の負荷に対応できる堅牢な設計を特徴としています。このモデルは、4〜6 cmの負荷サイズで、最大2kgの材料を処理することができます。それはまた別のサイズ/形の部品を収容する側面、モーターを備えられた部屋およびカバー動きを含んでいます。TCP 9408 SE装置は、1ミクロン加熱ステージを備えた高解像度ワークチャンバーを備えています。プロセスチャンバーは、最大1050°Cの温度範囲で、電子的に加熱されます。また、システムは、-60°Cの冷却範囲で、加熱ステージのオプションの冷却を持っています。単位はetch/ash変数の完全な監視そして制御を提供します；ヘリウムのフラッシュ圧力、温度および冷却率。それにまたユーザーがプロセス変数およびサイクル時間を監視できる自動サイクル停止およびガス管理機械があります。LAM RESEARCH TCP 9408 SEには、安全ロック蓋、ダブルピンチ密閉Oリングシール、インターロックおよび過負荷検出、フォルト分離ツールなど、さまざまな安全機能があります。アセットは、保護アラームの配列と追加のシールドのための規定で、最適な危険な環境制御とユーザーの安全のために設計されています。結論として、TCP 9408 SEは、高度な熱制御モデルを備えた信頼性の高い堅牢なエッチャー/アッシャーです。さまざまなプロセスパラメータと安全機能を備え、高速なプロセスサイクルタイムと高スループットを提供します。この装置は、高解像度のワークチャンバーとユーザーフレンドリーなGUIを備えた多種多様な基板を処理することができます。