中古 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9014916 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9408SE Asherは、大量生産およびプロセス開発の要件を処理するのに適した、高精度で中量の蒸気相ウェットエッチングツールです。アッシャーは、今日の究極のフォトマスクプロセスに必要な精度、スループット、再現性を提供します。これは、ユーザーの労力を最小限に抑え、プロセスのサイクル時間を最小限に抑えながら、幅広い特殊なプロセスの複雑さと高級な生産を処理するように設計されています。これは、流量、温度、圧力、サイクルタイムなどのプロセスパラメータの自動微調整を含む、他のエッチングシステムよりも多くの利点を提供します。これは、一貫した最適なエッチングプロセスを提供する蒸発性の断熱エッチングプロセスを使用しています。これにより、手動のプロセス条件最適化のドリルが排除されます。超精密なデジタルフロー制御により、重要な寸法を均質化することなく、最大許容エッチング率を保証します。温度と圧力の安定性は、エッチング速度と基板温度のための広いプロセスウィンドウを提供します。プロセスログ付きの直感的なWindows-ベースのタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、手動のプロセス監視を必要とせずに、エッチング処理条件をリアルタイムで監視できます。Asherの信頼性の高い、実績のあるDV12プロセス技術は、優れたパフォーマンスと真のプロセス汎用性を提供し、3年間の限定保証に裏打ちされています。フレキシブルでコンパクトな設計で、従来のウェットエッチングシステムに比べて設置が容易で、スペースを最小限に抑えることができます。アッシャーは、駆動式ウェーハヒーター、および温度、圧力、およびフロントパネルに直接ルーティングされたフローコントロールを使用できます。エッチング中の圧力と温度の自動制御とサイクル間のチャンバの自動パージにより、幅広いエッチング化学製品に統合された自動化されたソース-ガス供給システムを提供します。TCP-CN-9408SE Asherには、パワーオンセーフティスイッチと緊急オフスイッチも装備されています。Asherはまた、プロセスレシピをユーザーマニュアルに保存する機能を提供し、プロセスケミストリーまたはプロセスパラメータの迅速な切り替えを可能にします。これにより、完全なプロセスのトレーサビリティと再現性が確保され、大量の複雑なフォトマスク生産に適しています。TCP-CN-9408SE Asherは、所有コストを最小限に抑えながら、顧客のスループットを最大化するための理想的なソリューションです。