中古 LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400Bは、厳格なプロセス制御要件を備えた半導体デバイス製造用に特別に設計された高精度エッチャーおよびアッシャーです。特許取得済みのガスキャビネットにより、TCP 9400Bは他のモデルよりも高速で均一な結果を生み出すことができます。業界をリードするパフォーマンスと信頼性を提供し、MEMS、 RF、 Advanced FTIQ、超薄型ウェーハ処理などのミッションクリティカルなアプリケーションに最適です。LAM RESEARCH TCP 9400Bのガスキャビネット技術は、チャンバーの壁を通してガス分子を取り除き、エッチングの均一性と速度を大幅に向上させます。この改良されたプロセス制御により、アンダーカットが小さくなり、プロファイルの適合性が向上し、ボイドが少なくなります。特許取得済みの三角位相シフトマグネトロンソースは、厚膜のエッチングに95％以上の均一性を提供します。高度なPID制御システムは、自動周波数チューニングとエッチング条件を継続的に監視するTrue-to-Lifeモデルを備えています。マシンには1つのチャックと2つのプロセスチャンバーがあり、ユーザーはシステムを離れることなく同じジョブでエッチングとアッシャーを行うことができます。基板サイズは2〜6インチ、回転速度は11,000rpmまで対応しています。プロセス温度範囲は-10°C〜+400°Cで、ほぼすべてのタイプのエッチングおよびアッシングプロセスとの互換性を確保します。その他の機能としては、24ビットの内蔵カラーLCDディスプレイ、Network Addressable Remote Control （NARC 2）プロトコルによるイーサネット接続、特許取得済みの低消費電力電源の設計、および統合されたバースト圧力通知システムや静電気放電（ESD）保護などの安全システムがあります。TCP 9400Bは、優れた信頼性、精度、再現性を提供します。高度なプロセス制御技術と革新的な設計により、精密エッチングおよびアッシング用途に最適です。