中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9364645 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400 asher/etcherは、CF4、 NF3,SF6、 O2などの様々な化学物質を用いた困難な材料のドライエッチング用に設計された反応イオンエッチング（RIE）装置です。このシステムは、再現性と再現性の高い方法で基板に機能をエッチングする機能を備えています。それはトレーサブルな特徴サイズの正確さおよび平面および3次元の形態の均等性とエッチングできます。これは、最新の2つのチャンバー技術-LaB6と新しいWFMSチャンバーを装備しています。「低圧音響バリアエッチング」の略であるLaB6は、フッ化バリウム、シリコン、ドープシリコンエッチングに非常に適しています。新しいWFMSチャンバが最近追加されました。このチャンバは「Wide Area Field Mass Spectrometry」の略で、デバイスおよびパターン化されたウェハレベルの処理に最適です。TCP 9400エッチャー/アッシャーは、高度なメディア配信システムを利用し、ガスや化学物質の正確な配信を可能にします。また、ガスフローコントロールユニット（GFCS）は「、合計」と「部分」ガス星雲制御を備えています。さらに、両方のチャンバにリモート監視機能が提供され、プロセス制御とプロセスデータのフィードバックが可能です。LAM RESEARCH TCP 9400アッシャー/エッチャーは、高度なウェハトランスポート機能も備えています。半自動ウェハローディング/アンローディングマシンを使用して、ウェーハを両方のチャンバーに出入りすることができます。この便利なツールは、安全、自動化、および測定検査されたウェーハ処理を可能にします。TCP 9400アッシャー/エッチャーは、自己機能のコンピュータドライブで設計されています。この機能はトラブルフリーな操作を保証し、あらゆる種類のプログラミングの必要性を排除します。このアセットは、高速なウェーハ検索とアンロード時間を提供し、幅広いバッチおよびシングルウェーハプロセス用に設計されています。また、新しいプラズマジェネレータ、低熱負荷、自動検出ウェーハの向き、サイドウォールエッチング機能を利用しています。LAM RESEARCH TCP 9400エッチャー/アッシャーは、迅速なエッチング処理を制御および実行するための貴重なリソースです。高度な機能が豊富なため、高品質で信頼性の高い部品や部品の製造に最適です。純粋なシリコンウェーハ、樹脂コーティングされたウェーハ、シリコンオンインシュレーター（SOI）ウェーハ、金属酸化物半導体ウェーハ（MOS）ウェーハなど、幅広い材料の迅速かつ精密なエッチングに最適です。