中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9313523 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、フォトマスク製造およびその他のリソグラフィ用途向けの高精度、高スループットエッチャーおよびアッシャーです。このベンチトップエッチャー/アッシャーは、優れたプロセス均一性と再現性を提供し、精密設計による優れたエッチング性能を提供することができます。TCP 9400は、さまざまなリソグラフィープロセスのエッチングのニーズに対応するために、ウェットエッチングとドライエッチングの両方、ならびにリアクティブイオンエッチング（RIE）チャンバーオプションを備えています。例えば、ウェットエッチングチャンバーはシリコンウェーハのディープエッチングに、ドライチャンバーはアスペクト比の高い薄いトレンチのエッチングに使用できます。さらに、RIEオプションは、回路線や接点などのより正確な機能をエッチングするために使用できます。LAM RESEARCH TCP 9400は、エッチング処理を監視し、異なるエッチング速度で調整できるエンドポイント検出器も備えています。これにより、より良いプロセス制御とエッチング結果の最適化が可能になります。このエッチャー/アッシャーの最大エッチング速度も、エッチングプロセスと材料に応じて調整可能です。TCP 9400は、先進のリアルタイム基板温度制御装置も備えています。例えば、4〜400°Cの温度範囲を維持することができます。温度制御により、熱膨張や収縮による誤差が低減され、エッチング動作の精度が向上します。また、セルフキャリブレーティングシステムを備えており、さまざまな基板にわたって一貫したエッチング深度を確保します。LAM RESEARCH TCP 9400には、露光時間、基板温度、エッチング速度などの設定用に、ディスプレイと調整可能なパラメータを備えたコントロールコンソールがあります。これにより、ユーザーは簡単にエッチング操作をカスタマイズできます。また、画面上のレシピクリエイターを備えており、ユーザーは特定のフォトマスク生産アプリケーションに適切なエッチングレシピを選択することができます。TCP 9400は、エッチングおよびアッシング関連プロセスにおいて安全で信頼性の高い選択肢です。エッチャー/アッシャーは、危険な状態を避けるために、緊急停止や電子制御インターロックユニットなどの安全機能を備えて設計されています。エッチング環境での清潔感を確保するため、エアフィルトレーションマシンも装備しています。さらに、ロードロックとクリーニングツールで設計されており、バッチtoバッチ転送を迅速に行うことができます。全体として、LAM RESEARCH TCP 9400は、エッチングおよびフォトマスク操作を最適化するために設計された信頼性の高い高精度エッチングおよびアッシャーです。優れたエッチング性能、高精度の温度制御資産、および安全機能により、エッチングおよびアッシング用途において効率的で信頼性の高い選択肢となります。