中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9262479 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、半導体デバイス製造プロセスにおける重要なフィルムおよび基板の高いスループットと信頼性の高い処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、最適化されたエッチング、アッシング、およびデキャップ機能を単一の、簡単に維持プラットフォームで提供します。TCP 9400は、高熱処理チャンバーと高速ターボポンプを使用して、均一な気体の流れと最適な熱制御を提供し、効率的な性能を提供します。ユニットは、正確かつ直感的な操作を提供するタッチスクリーンインターフェイスを介して制御することができます。また、さまざまなステッププロファイルやレシピコントロールなど、強力なオートメーション機能も備えています。これにより、最も困難なエッチング作業にも最適です。LAM RESEARCH TCP 9400は、高度な安全機能と厳格な汚染制御も備えています。それは材料が加えられ、処理されるアルミニウム細胞を密封し、独立して制御しました。アルミニウム電池は、材料の汚染を防ぎ、エッチングと洗浄のための管理された環境を提供します。さらに、ユニットにはリーク検出器と圧力制御安全機能が装備されており、危険な材料や粒子がチャンバーから逃げないようにしています。TCP 9400には、リモートHFセンサ制御、CDW濃度制御、統合ローディングシステムなどの先進的な材料処理も装備されています。これらの機能を備えたLAM RESEARCH TCP 9400は、エッチングおよび洗浄プロセスを正確かつ効率的に制御するとともに、安全性を確保し、汚染を排除します。TCP 9400は、高性能で信頼性の高いエッチャー/アッシャーを必要とするあらゆるクリーンルームや製造施設に最適です。その安定性、オートメーション機能、コンタミネーション制御、安全機能により、精密または大規模なエッチング操作に最適です。