中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9243878 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、効率的でフル機能のエッチャー/アッシャーであり、最適なプロセス柔軟性を提供します。これは、受賞歴のあるTCPシリーズのプロセスツールのメンバーであり、研究開発および生産アプリケーションの両方で優れたパフォーマンスを提供するように設計されています。TCP 9400は、ポリマー、金属、有機物、セラミックスを含むすべての金属および誘電体の精密かつ再現可能なプロセスを提供します。LAM RESEARCH TCP 9400は1。4mmから4。5mmまでの厚さのウェーハのエッチングとストリッピングに適しています。TCP 9400エッチャー/アッシャーは、最大限のプロセス柔軟性を提供し、さまざまなプロセスガス、基板、チャック温度を含みます。これは、さまざまなプロセスのためのエッチャーの簡単なカスタマイズを可能にするさまざまなプロセスモジュールを持っています。プラズマベースのプロセスでは、LAM RESEARCH TCP 9400は、特許取得済みのPlasmaTuner™モジュールを使用して優れた均一性を提供します。PlasmaTunerモジュールは、優れた均一性とプロセス制御のためにプラズマ源の出力電力を正確に調整します。TCP 9400には、プロセスを自動化するための最新のソフトウェアとハードウェアも含まれています。これは、統合された周辺機器との統合されたプロセス制御、およびお客様がプロセスを迅速かつ簡単にプログラムするためのソフトウェアとハードウェアの完全なスイートを備えています。LAM RESEARCH TCP 9400は、究極の再現性と再現性を備え、一貫した信頼性の高い結果をもたらすように設計されています。それは優秀な空気熱交換のための二重独立したフィルターを部屋全体の熱勾配を最小にし、競争システムより20倍良い均等性を提供します提供します。TCP 9400はまた、クリーンプロセスガスを効率的かつ一貫して提供するためにウォーターリングポンプを組み込んでいます。全体として、LAM RESEARCH TCP 9400エッチャー/アッシャーは、幅広い基板の効率的なエッチングと剥離のための優れたプロセス柔軟性と制御を提供します。精度、再現性、信頼性を必要とする研究開発および生産アプリケーションに最適です。