中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、堅牢で高速、高精度のウェーハエッチングプロセスを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このマシンは、ウェットおよびドライエッチングの両方のステップを実行することができ、すべてのエッチングパラメータを優れた制御を提供します。エッチングチャンバーには、リアクタントまたはキャリアの複数のチャンバーが含まれており、乾式エッチングでは650°Cまで、湿式エッチングでは600°Cまで温度を維持できる加熱モジュールがあります。また、ウェットおよびドライエッチングの両方のアプリケーションでRF電力を制御するためのRFジェネレータも備えています。また、高度な半導体加工ロボットを搭載し、高精度のエッチングやアッシュ処理でウェハを正確かつ迅速に処理することができます。ロボットは4「8」までのウエハを扱うことができます。このマシンには、複数のエッチングパラメータ（フロー、圧力、温度、RFなど）を追加で制御するマルチプロップセンサチャンバーも含まれています。TCP 9400は圧力ベースの高速ガス供給システムも備えています。このシステムは、高圧ガスと低圧ガスの組み合わせを使用して、ウェハ全体に均一なエッチングまたは灰を供給します。ヘリウムベースのガス供給システムも利用可能で、エッチングアスペクト比とエッチング選択性をさらに制御できます。このマシンには、エッチング/灰プロセスの手動と自動化の両方をサポートできる高度な制御エレクトロニクスパッケージも含まれています。豊富なアプリケーションライブラリは、手動でも自動的にも、さまざまなオプションをユーザーに提供します。ディスプレイタッチスクリーンはまた、プログラミングと監視プロセスを簡単かつ簡単にする直感的なユーザーインターフェイスを提供します。全体として、LAM RESEARCH TCP 9400は、最新の半導体加工の厳しい要件を満たすことができる高度で柔軟な高精度エッチャー/アッシャーです。堅牢な設計と高性能な機能により、あらゆる半導体製造施設にとって貴重な資産となります。