中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、デバイス形成プロセス中に特定の材料層を適用するための半導体デバイス製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。TCP 9400は、TCP （Technology Communication Protocol）インターフェースを使用してプロセスツールのネットワーキングを行い、互いに相互作用し合い、ガスの流れ、温度、時間、圧力などのパラメータを調整して最大のプロセス性能を実現します。LAM RESEARCH TCP 9400は、最大500mmまでのエッチング基板またはアッシャー基板を備え、安定した低摩擦の動作を提供する特許取得済みのZRide™プラットフォームを備えており、ウェーハ面の再現性とプロセス均一性に重要なプロセス面の高さにタイトなウェーハパターンを維持します。TCP 9400は、LAMのGasflow™技術を利用しており、高速反応（FAR™）バルブを使用して、プロセスガスを正確に有効化および無効化し、特定のジョブ要件に合わせて微調整することで、再現可能なプロセス結果を迅速に達成します。また、Dynamic Inerting™は、不活性ガスとプロセスガスの高速スイッチングを可能にし、ジョブ要件の変化に迅速に対応し、真空プロセスの高度な制御と均一性を提供します。また、シングルウエハ処理とロット処理を可能にする独自の自動ウェハハンドリングユニットと、高速基板のプリクリーニングとローディングを可能にする低圧ロードロック（LPL）チャンバーを備えています。LAM RESEARCH TCP 9400は、単一のチャンバー内の複数のポートを制御することができ、ポート間のガスの制御スイッチングを提供します。安全性を確保するため、TCP 9400には一連のハードウェアおよびソフトウェアの安全機能が装備されており、プロセスチャンバーへの不正アクセスを防ぎ、温度、圧力、湿度レベルを監視します。LAM RESEARCH TCP 9400はまた、ツールによってエキゾチックな材料が検出された場合に自動シャットダウンおよびクリーニングをトリガーする流出検出機を備えています。TCP 9400は、半導体デバイス製造プロセス向けの包括的なオールインワンエッチャー/アッシャー資産です。LAM RESEARCH TCP 9400は、TCPインターフェース、ガスフロー技術、動的入力機能、自動ウェハハンドリングモデル、およびさまざまな安全機能を備えており、高度な制御レベルと精度を提供し、再現可能な結果を提供します。