中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、半導体製造におけるFEOL （Front End Of Line）プロセス用に設計された高性能エッチャーおよびアッシャツールです。その先進的な多周波共鳴技術は、反応性イオンエッチングと酸化を同時に行うことで、大量生産性を実現しています。TCP 9400には、基板面積が大きい大きなプロセスチャンバーがあります。これにより、均一な基板ローディングが保証され、高い生産性とスループットを実現します。また、静電ピンチ電圧技術を活用し、均一で一貫したエッチング処理を実現しています。ピンチはまた、プロファイリングの改善につながる変動を最小限に抑えるのに役立ちます。また、このツールは低周波電力周波数変換機能を備えており、エッジやコーナーでの過剰エッチングのリスクを低減するのに役立ちます。これにより、プロセスの精度と歩留まりが向上します。LAM RESEARCH TCP 9400は、均一なエッチングと酸化を保証する均一なソース分布を提供します。また、バイアスを利用してエッチングの選択性を向上させ、基板からパターン化されたフィーチャーを素早く除去します。このツールの高度な制御技術により、ユーザーはRF電源やタイミングなどの条件を正確に監視および調整できます。これにより、エッチング条件を最適化して、基材やフィーチャーのサイズに合わせてプロセスを調整できます。TCP 9400には、高速サイクルタイムも含まれています。これにより、高スループットの生産が可能になります。さらに、このツールには診断機能が内蔵されており、迅速な障害検出と回復を可能にします。これにより、本番環境に適しています。高度なソフトウェア機能により、プロセスの最適化、データロギング、レシピ編集も簡素化されています。LAM RESEARCH TCP 9400は、FEOL市場のニーズを満たすように設計された強力で汎用性の高いエッチャーおよびアッシャーツールです。その高度な機能は、優れた処理能力とスループットを提供し、より大きなプロセス制御と最適化を可能にします。