中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180718 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、パネルおよびICレベルのフラットパネル加工に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、超高解像度エッチングを提供することができ、ユーザーは高エネルギービームを使用してのみ達成できる複雑なパターニング設計を行うことができます。このユニットは、最先端のアブレーションチャンバーを備えており、複数のナノメートルから100ミクロンまでの高エネルギーの波長ビームを生成することができます。TCP 9400は、低コストで高精度な処理能力を提供するように設計されています。この機械は、基板を加熱してプラズマビームを生成し、基板の所望のエッチングまたはアッシングを引き起こします。この第1段階は、LAM RESEARCH TCP 9400のユニークな特徴が最もはっきりと明らかになるところです。アブレーションプロセスの第二段階は、超高解像度エッチングを生成するために基板を冷却することです。このプロセスは、基板に短いバースト高エネルギービームを提供するトップダウンのパルスレーザーを使用することを含みます。これにより、きれいで正確な仕上がりになります。このツールは、最大750ナノメートルのエッチング深度を制御することもできます。最終的に、TCP 9400はまた、コーティング操作の広い範囲を実行することができます。これには、スピンコーティング、スプレーコーティング、ポストエッチコーティングなどの幅広い処理が含まれます。これらのプロセスは、パターン分解能と均一性を高めながら、堅牢な耐食性を提供するために使用されます。要するに、LAM RESEARCH TCP 9400は、パネルおよびICレベルのフラットパネル処理用に設計された高精度エッチャー/アッシャー資産です。アブレーションチャンバーを搭載し、複数の波長の高エネルギービームを生成し、超高解像度エッチングを実現します。さらに、堅牢な腐食保護により、パターン分解能と均一性をさらに向上させる多くのコーティングプロセスを提供します。