中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9171323 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、製造業界のさまざまなプロセスに使用されるプラズマ強化エッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いツールは、銅、タングステン、アルミニウムなどのさまざまな材料をエッチングして堆積させることができます。このツールは、エッチングとアッシングの両方に使用できます。TCP 9400には大型プラズマチャンバーが搭載されており、様々な基板での作業が容易に行えます。このチャンバーは、ガスの最適なイオン化と圧力、流量、温度レベルを正確に設定できるように設計されています。窒素およびヘリウムから排気の流れおよび活動的な冷却に、さまざまな冷却方法は最もよい結果を保障するために利用できます。このマシンは、シンプルで使いやすい直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。安全な動作環境を確保するための安全対策もいくつかあります。LAM RESEARCH TCP 9400には、過圧保護装置とウェハセンシングシステムの両端が装備されており、粒子がチャンバーから逃げるのを防ぎます。また、ウェブ監視ユニットと監査証跡を備えており、データログにアクセスして最適なパフォーマンスを確保することができます。TCP 9400は、エッチングやアッシング材料に加えて、層上堆積、アニール、ポリシリコン堆積などの他のプロセスにも使用できます。このマシンには、チャンバー内の圧力、流量、およびその他のパラメータを構成するためのさまざまなオプションもあります。このチャンバーには、高度なウェーハハンドリングマシンも装備されており、正確で繰り返し可能なウェーハ転送を保証します。全体として、LAM RESEARCH TCP 9400は多目的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、さまざまなアプリケーションで高精度とパフォーマンスを実現するよう設計されています。このマシンは、ユーザーフレンドリーなGUI、高度な安全性とデータロギング、およびさまざまな材料処理機能を備えています。TCP 9400は、さまざまな機能を備え、多くの半導体デバイス製造プロセスに最適なソリューションです。