中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、ウェーハ処理アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。直径8インチまでの基板加工が可能な高速・高解像度エッチング・アッシング装置です。このシステムは、生産規模のアプリケーション向けに一貫して複製できる一貫した結果で、非常に正確なパターンを作成するように設計されています。高品質の二軸ガントリーロボットサポートユニットを搭載し、加工室全体を正確にモーションコントロールします。また、処理中に基板の熱プロファイルを確認するためのサーマルイメージングセンサーも備えています。ガントリーは、基板が所望の加工位置に迅速かつ正確に持ち込むことができることを保証します。強力なマスフローコントローラは、さまざまな化合物で正確なガス流量管理を提供し、ユーザーの介入を最小限に抑える必要があります。高度なプロセス制御ソフトウェアは、レシピごとに最大10ステーションでメモリに複数のレシピが存在することを可能にします。このマシンは4/4のロードロックチャンバー構成で構築されており、最大4つのウェーハを一度にロードまたはアンロードすることができます。TCP 9400は、複雑なパターンや密度の高い構造をプラズマや化学エッチングで処理するように設計されています。化学プロセスとプラズマプロセスを瞬時に切り替えることができ、低サイクルタイム生産が可能です。プラズマ駆動システムは最大200ワットの電力を得ることができ、エッチング速度と均一な特性を正確に管理できます。さらに、LAM RESEARCH TCP 9400は、自動ウェハ検査用の高度な高速イメージングマシンを備えています。このツールは、サブミクロン分解能で最小の機能を測定することができ、数分でウェーハ全体を画像化することができます。機械は埋め込まれた安全機能が装備されており、ガスおよび圧力管理を監視して安全性の追加レベルを提供することができます。TCP 9400は、大量のウェーハ処理アプリケーションに大きなメリットをもたらす高性能エッチャー/アッシャーです。高度な制御資産、二軸ガントリーロボットサポートモデル、多目的なプロセス機能により、正確で一貫した結果を生み出すための理想的な選択肢となります。