中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、半導体デバイスの製造用に設計されたエッチャー/アッシャーユニットです。インラインアブレーションやエッチングプロセスを1つの操作で実行できる高度に自動化された装置です。このシステムは、デバイスの中規模から大量生産に最適です。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）チャンバーを搭載し、フタ開閉機構を備えています。このチャンバーは、高精度かつ高精度な基板加工を可能にするように設計されています。チャンバーには、統合された熱交換器と、正確なプロセス制御のための追加の圧力制御モジュールがあります。また、工具から基板を積み降ろしするためのシングルウェハ搬送ロボットも備えています。このロボットは、高いプロセス柔軟性を提供し、信頼性と効率的な基板処理のためのビジョンツールを備えています。また、パワーモジュールを搭載し、優れた基板保護とサイクルタイムの短縮を実現しています。コントローラユニットは、アセットを実行するために必要な制御およびオートメーション機能を提供します。これには、操作パラメータ、レシピ管理、データロギング、ホストコンピュータへの接続が含まれます。コントローラユニットには、プロセスの結果を監視および分析し、将来の再現性のためのレシピを保存する機能が含まれています。最後に、このモデルは、プリエッチングおよびポストエッチングプロセス用に最大8つのウェーハを保持するように設計されたロードロックチャンバーを備えています。このチャンバーには、避難用の真空ポンプとチャンバーの雰囲気を取り込むための酸素注入ポートが含まれています。これらのすべてのコンポーネントは、一貫した信頼できる方法で品質、再現性のある結果を生み出すために協力しています。TCP 9400エッチャー/アッシャー装置を使用することにより、デバイスメーカーは、仕様要件を満たす半導体デバイスをタイムリーかつ費用対効果の高い方法で製造することができます。