中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、半導体および高度な包装業界における高精度エッチングおよびアッシングの需要に対応するように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この装置は、優れた性能で高速で均一で信頼性の高いプロセスを提供することができます。TCP 9400は、完全に自動化された統合されたガス配送プラットフォームを備えており、最大11のガス配送ポイントを同時に提供できます。また、最大3台のホットロボットを備えた高効率ロボットインターフェイスを備えており、手動でのローディングと迅速な納期のために最大40ウェーハを操作できます。この装置には、可変周波数駆動を備えた真空ポンプパッケージと、排ガスを最小限に抑え、機器と基板間の熱伝達を最小限に抑えるように設計された特別なプロセスチャンバーが含まれています。LAM RESEARCH TCP 9400は、高いアスペクト比を実現する酸化物、窒化物、その他のエッチングなどの再現可能なプロセスを、複数のウエハサイズにわたって高い精度と均一性で提供することができます。高いスループット率とTCP 9400の微細なプロセス制御により、サイクル時間が短縮され、生産歩留まりが向上します。LAM RESEARCH TCP 9400には、エッチング/アッシングプロセス全体を監視する強力なプロセスモニタリングシステムも装備されています。ガス流量、圧力、温度、電力を含むその運用プロセス制御パラメータは、プロセス制御ソフトウェアにプログラムすることができます。これにより、プロセスを最適に管理し、ビア、ライン、およびコンタクトホールが時間経過後に完璧にエッチング/アッシュされるようにします。結論として、TCP 9400は、複数のウエハサイズにわたって優れた均一性を提供する高速で信頼性が高く、繰り返し可能なプロセスを提供するため、半導体および先進的なパッケージング業界にとって理想的なソリューションです。パワフルなプロセスモニタリングシステムと自動ガス配送プラットフォームにより、すべての作業が完璧に完了し、生産性と満足度が向上します。