中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293805105 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、半導体業界のさまざまな用途に使用される高精度エッチャー/アッシャーです。TCP 9400は、LAM RESEARCH特許取得済みのDuraSketch™技術を中心に構築されており、エッチング、アッシング、およびその他の重要な技術に対して高精度で再現性のある結果を提供します。エッチャー/アッシャーは、高度なプラズマプロセスを使用して、高速でクリーンで均一なエッチングプロセスを提供し、優れたウェハ品質を実現します。LAM RESEARCH TCP 9400は、非常に革新的な真空ロードロックと基板搬送装置を使用しており、オペレータは1サイクルで最大8個のウェハを簡単に転送できます。このシステムの設計により、ウェーハの正確で制御された垂直方向の動作も可能になり、エッチプロセスは非常に反復可能で、プロセスのバリエーションを欠いていることを保証します。これにより、最終製品の収率が高くなり、均一性が向上します。このユニットはまた、正確な周波数と電力制御を備えた精密なデジタルRFジェネレータを備えています。これにより、ユーザーは飽和応答時間とエッチング速度でダイヤルするだけでなく、エッチングの深さを正確に設定することができます。プロセスパラメータを正確に制御することで、あらゆる精密エッチングプロセスでの使用に最適です。このマシンはまた、さまざまなエッチング用途を可能にする、ソース・ガスの豊富な選択を備えています。また、自動ガススイッチングも備えており、完全なプロセスの自動化を可能にします。このツールはまた、エッチングプロセス中に正確な熱制御のための正確な加熱ゾーンを提供します。TCP 9400は、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。精密なプロセスパラメータ、自動ガススイッチング、豊富なガス選択により、高収量、高品質の生産プロセスに最適なツールです。直感的な制御、真空トランスファーアセット、デジタルRFジェネレータも、精密エッチングプロセスに最適です。