中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293758208 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、高度なエッチングとアッシング性能を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。この革新的な装置は、生産量、フラットパネルディスプレイ（FPD）プロセスステップ、3D成膜/エッチング、フォトリソグラフィ、MEMSデバイス製造などの高い製造スループットアプリケーションに最適です。導入以来、TCP 9400は柔軟性、容量、堅牢な機能により、非常に人気のあるエッチャー/アッシャーになりました。LAM RESEARCH TCP 9400は、正確なパターン転送、正確なガス分布、広範なプロセスウィンドウ用の統合されたデュアルチャンバーシステムです。特許取得済みのAdvanced Recirculating Equalizing Gas （AEG）入口技術を使用して、ユニット内の均一なガス分布を作成します。この精度により、ライン/スペース（L/S）パターンの小さい高密度FPDアプリケーションの製造において最適なエッチング性能が得られます。幅広いプロセスウィンドウにより、低温/高温エッチングと非常に正確なエッチング速度/プロファイル性能を実現します。TCP 9400は、最大50個のウェーハ/サイクルのオプションを備え、高スループットのパフォーマンスを実現します。また、99ユニットの大容量カセットハンドリングを提供し、スループットをさらに向上させます。高温駆動とダイレクトドライブ機構により、チャンバ間のウェーハ搬送が高速化され、生産性が向上します。LAM RESEARCH TCP 9400は高度に構成可能であり、お客様は特定のニーズに合わせてシステムを調整することができます。これには、ホットウエハ処理、チャンバ最適化、および自動ソース材料スイッチングなど、複数の自動ホットおよびコールドロード対チャンバサイクル管理オプションが含まれます。また、バッチローダー、熱交換器、高温/低温ソース材料送信器、ウェハハンドリングロボット制御、ウェハマッピングソフトウェアなど、さまざまなフロントエンド構成も含まれています。このツールには、ユーザーフレンドリーなフィード選択可能なガスコントローラも装備されており、オペレータはプログラミングを必要とせずに目的のプロセスガスをすばやく選択することができます。ガスコントローラは複数のガスとも互換性があり、オペレータはさまざまなプロセスの異なるガスに簡単に切り替えることができます。全体的に、TCP 9400は、高容量での精度のために設計された高度なエッチャー/アッシャー統合アセットです。その優れたガスフロー技術、迅速なターンアラウンドタイムと柔軟性は、ユーザーに非常に信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。