中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293752333 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、基板洗浄およびプレメタライゼーションプロセス用に設計された完全自動化、高精度、エッチングおよびアッシャー装置です。この自動化システムは、シリコン、ガラス、石英など、さまざまな基板に高品質のプロセスを提供します。全体的なエッチバック加工に最適で、金属蒸着に理想的なプラットフォームを提供します。TCP 9400は、基板エッチングの効率性を高める多くの機能を備えています。ロボットアームを利用したアルカリクリーンプロセスモジュールに基板を移動させる完全自動化されたウエハキャリアを備えており、内蔵のコントローラはエンチリエッチャプロセスを監視および制御します。単位のプログラム可能な圧力制御は自動的に基質の均一そして一貫した磨くことのための反作用の部屋の圧力を調節します。さらに、LAM RESEARCH TCP 9400は完全にクローズドサイクルで動作し、すべての不活性コンポーネントを回収してエッチングプロセスに再循環して廃棄を防ぎます。TCP 9400は、2つのエッチングソリューションを使用して、ウェーハ表面全体にわたって均一なエッチングレートを確保します。各溶液には、特定の湿式化学エッチングおよび化学機械研磨プロセス用の個別のリージェントが含まれています。これにより、基板表面の最適な濡れと開始材料の均一なエッチングが保証され、一貫した表面仕上げが可能です。さらに、精密なプロセス制御のためのミクロンレベルの精度の精密温度制御機械を備えています。このツールには、エッチングプロセスを監視するための光学計測資産も内蔵されています。これにより、オペレータは、エッチング工程の進捗状況と基板の表面プロファイルをリアルタイムで観察および監視することができます。また、エッチプロセスはオンラインプロセスデータベースを介して監視および記録されるため、ユーザーはプロセスの傾向を表示し、変更を警告することができます。LAM RESEARCH TCP 9400は、詳細なプロセス制御、正確なエッチング速度、高性能な基板洗浄および金属蒸着を提供する信頼性の高い自動エッチングおよびアッシャーモデルです。特徴と性能の組み合わせにより、さまざまな基板エッチング用途に最適です。