中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293621416 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、集積回路の製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。制御された環境で、正確で正確な高スループットエッチングとアッシングを提供することができます。装置は完全に自動化されており、異方性エッチング、CF4エッチング、ディープリアクティブイオンエッチング、酸素エッチング、灰の除去など、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスで動作します。TCP 9400は、光学エンコーダを内蔵した高度で高速なスキャニングマイクロプロセッサと、さまざまなマイクロエレクトロニクス材料の精密で制御されたエッチングとアッシングを可能にする専用の制御システムを備えています。高いスループット、精度、再現性により、ディープリアクティブイオンエッチングや高度なプロセスに最適です。LAM RESEARCH TCP 9400のエッチングおよびアッシングプロセスは、組み込みのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。これにより、さまざまなエッチングおよびアッシング処理を簡単に操作および制御できます。このユニットには、エッチングおよびアッシングプロセス全体でプロセスパラメータを継続的に監視および調整するためのプロセスモニタとフォルト検出機も内蔵しています。TCP 9400はコンパクトなレイアウトで設計されており、生産室と研究室の両方に簡単に収まることができます。これにより、ツールを既存のエッチングおよびアッシング実験室や施設に簡単に組み込むことができます。さらに、このアセットはモジュラーアーキテクチャと拡張可能な機能で設計されており、他のシステムと統合することができ、時間の経過とともにパフォーマンスを向上させ、継続的な改善を可能にします。LAM RESEARCH TCP 9400には、波形ライブラリ、フォトリソグラフィおよび電子ビームライブラリ、CADおよびGDSIIライブラリ、プロシージャルジェネレーションスイート、マテリアルライブラリなど、ソフトウェアツールとコンポーネントのフルスイートが付属しています。これにより、モデルを既存のシステムやプロセスに素早く簡単に統合できます。また、アクセサリーや消耗品も豊富に取り揃えており、最適な性能と信頼性を実現しています。エッチャー/アッシャーとして、TCP 9400は高信頼性でユーザーフレンドリーなシステムで、多種多様な素材を正確にエッチング/アッシングできます。LAM RESEARCH TCP 9400は、高速スキャニングマイクロプロセッサ、組込みグラフィカルユーザーインターフェイス、ソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントのフルスイートを備え、高度なエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。さらに、既存のラボやシステムに簡単に組み込むことができ、高性能で精密なエッチングとアッシングを最小限のフットプリントで実現します。