中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293608569 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、リアクタントガスを使用して表面上のエッチングまたはアッシャー機能を使用するエッチャー/アッシャーです。このエッチング/アッシング処理は、熱化学蒸着チャンバで行われます。TCP 9400は、非常に短いサイクル時間で高品質な機能を作成するのに役立つ信頼性の高い堅牢なエッチャーです。LAM RESEARCH TCP 9400は、高いスループット、プロセスの均一性、精度の組み合わせを提供するように設計されています。TCP 9400はユニークなチャンバー設計を採用しており、作業領域全体にわたって高度に均一なプロセス条件を実現します。また、塩素、三フッ化ホウ素、三フッ化窒素など多種多様なプロセス・ガスを処理することができます。LAM RESEARCH TCP 9400には、プロセスガス流量を正確に制御できるガスフローコントローラが搭載されています。さらに、チャンバーの内部圧力を調整してエッチング/アッシング速度を最適化することができます。TCP 9400は、優れたエッチング/アッシング精度と再現性を提供する、使いやすく費用対効果の高い機器です。また、ワークの様々なタイプに適した広い作業距離を備えています。このシステムは真空認証を統合しており、プリエッチングとポストエッチングの両方に1つのエッチングを使用できます。さらに、水冷式プラズマ源を備えており、優れた温度制御とプロセス安定性を実現しています。これにより、より複雑な構造の精度、速度、精度を向上させることができます。LAM RESEARCH TCP 9400には、エッチング性能に関するリアルタイムフィードバックを提供できる強力な表面解析ツールが搭載されています。このツールは、材料のエッチング深さとプロファイルを測定するために、光放射分光法（OES）を使用しています。また、温度、圧力、流量などのプロセスパラメータへのモニタリングアクセスも提供します。TCP 9400には、プロセスデータの記録とアーカイブを可能にする統合データ収集ユニットも装備されています。結論として、LAM RESEARCH TCP 9400は、ユニークなチャンバー設計と統合プロセス分析ツールを備えた効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。優れたエッチング性能とアッシング性能を発揮し、サイクルタイムの短縮と高精度を実現します。その優れた制御機械は、パラメータとデータ収集を処理するための正確な調整を可能にします。