中古 LAM RESEARCH TCP 9400 #293592159 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400は、単一のツールで洗浄および沈着機能を提供する革新的なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、シリコンウェーハ、ガラス、石英など、さまざまな基板の高精度な加工を可能にするように設計されています。TCP 9400には、各種加工薬品や材料を基板上に正確に配置することができるスキャンヘッドを搭載し、最高品質のエッチング・成膜作業を実現しています。このスキャンヘッドは、リニアスイープモーションとラジアルスイープモーションの両方を備えており、エッチングと蒸着プロセスを優れた精度と速度で完了させることができます。LAM RESEARCH TCP 9400には、コンピュータワークステーションまたはユニットコンソールからアクセスできる統合制御ステーションがあります。このステーションは、マシンのセットアップと監視、および他のシステムとの通信のための包括的なユーザーインターフェイスを提供します。このツールには、ガスシャットオフ、緊急出口、緊急停止など、さまざまな安全機能が付属しています。TCP 9400には高度なプラズマエッチング資産が搭載されており、幅広い基板を容易に精度よくエッチングすることができます。高速酸素プラズマエッチングや高速窒素プラズマエッチングなど、エッチングやアッシングの最新技術を取り入れたモデルです。エッチャーは、酸化物除去、カウンタードーピング、深いシリコンエッチング、角の丸みと溝の定義、および他のプロセスなどのさまざまな操作に使用できます。LAM RESEARCH TCP 9400は、堆積プロセスとアッシングプロセスの両方を最適化するために特別に設計されたマルチチャンバーアッシャープロセスも備えています。これは、交換可能な化学源とマルチズーム機能を使用することによって達成されます。最後に、TCP 9400には高度な安全機能、自動安全監視装置（ASAM）が装備されています。この機能は、装置をスキャンし、プロセスパラメータを継続的に監視し、プロセス中に安全でない状況が発生した場合にユーザーに警告します。LAM RESEARCH TCP 9400は、基板の迅速かつ正確な処理を可能にする最先端のエッチャーおよびアッシャーです。このシステムには、蒸着プロセスを正確に制御するためのスキャンヘッド、高度なプラズマエッチャー、マルチチャンバーアッシャーユニットが装備されています。さらに、機械にはさまざまな安全機能があり、プロセスが安全かつ効率的に動作するようにします。