中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813746 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、精密な処理パラメータと優れた再現性を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。このモデルは、直径6インチまでの基板で動作するように設計されています。エッチレートは0。00から30。00mm/minに調節可能で、0。1mmの内で正確です。交換可能な電源を備えており、メンテナンスが容易で、高精度な温度制御が可能です。このユニットは、GaAs、 Si、ポリイミド、多結晶ダイヤモンド、窒化ケイ素、および他のポリマーを含むさまざまな種類の基板を処理することができます。ガス混合物は、オゾン、亜酸化窒素、または窒素の0。1 ppmから1000 ppmまで調節可能です。ONTRAK TCP 9400 SEには、正確で再現性の高い結果を保証するための高度な制御装置が含まれています。それは偶発的なプロセス排出を防ぐために安全インターロックが装備されています。システムは、すべてのサイクルで精度と再現性を確保するために独自のアルゴリズムを使用しています。このユニットは、再現性と信頼性の高い結果を提供するために、生産プロセスに簡単に統合することができます。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、長期耐久性のためにステンレス製のチャンバーを備えています。チャンバーは、精密結果と最大基板スループットのための最適な温度制御のために設計されています。また、プログラミングプロセスやデータロギング用の使いやすいソフトウェアも備えています。TCP 9400 SEは、ハイエンドのプロセスに必要なガスを含む幅広いガスにも対応しています。窒素、塩素、酸素、水素、アルゴン、塩酸と互換性があります。この機械には、再現性を確保し、プロセスのバリエーションを最小限に抑えるための入口真空バルブが装備されています。また、デリケートな表面でのグリップとパフォーマンスを向上させます。精密な温度制御と使いやすいソフトウェアにより、LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEはハイエンド処理に最適なエッチャー/アッシャーです。高度なツールは、最高のスループットを提供しながら、再現性と信頼性の高い結果を保証します。このユニットのステンレスチャンバーは、長期使用における最大の耐久性を保証します。幅広いガス互換性により、柔軟で信頼性の高いアプリケーションを実現します。強力な性能、精度、使いやすさを備えたONTRAK TCP 9400 SEは、生産ラインやラボには欠かせません。