中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813740 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体製造で使用されるアッシャーとしても知られるエッチャーです。ONTRAK TCP 9400 SEは「、半導体エッチングのための薄い可能なプラットフォーム」の略で、商業エッチングの生産と研究に使用するために設計されています。それは4つの独立したエッチャーおよび11の独立したプロセス部屋が付いている高いスループット、完全に自動化された装置です。このシステムは、一度に最大4つのウェーハをエッチングして除去することができ、同時に数百の実験を行うことができます。ユニットのコアには、シリコンと誘電体の両方の材料を最大毎秒3。2°の速度でエッチングすることができる高効率の薄膜エッチャーがあります。複数のレイヤーを一度に処理できるため、エッチング時間を大幅に短縮できます。これにより、LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、プロセスが厳しく制約されている、またはパフォーマンスが重要なアプリケーションに最適です。また、フォトレジストストリップ、エッチングストップ、レジストストリッピング、ヒ素ドーピングなどのプロセスも実行できます。Etch Eject Assembly （EEA）は、エッチング処理後にウェーハ表面が汚染されないように設計されています。また、EEAは汚染の可能性を最小限に抑え、エッチング深度の変動を低減するのに役立ちます。TCP 9400 SEには、信頼性の高い600mm x 400mmクォーツチューブが搭載されており、高いスループットを維持し、一貫したウェーハ品質を保証します。その13 MFCプロセスラインは、圧力、温度、およびガスの流れを正確に制御します。ガスの流れは0-50slpmから変えることができ化学消費を減らし、プロセスをよりよく管理するのを助けます。また、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、効率的で自動化されたデータの流れを可能にします。また、プロセスモニタリングやリーク検出などの高度な診断機能を備えており、優れたプロセスコントロールを提供します。さらに、LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、業界の安全基準に準拠するように設計されており、人員と機器に高いレベルの保護を提供します。また、必要に応じてサポートやトラブルシューティングを提供することができる専門エンジニアのチームによってサポートされています。全体として、ONTRAK TCP 9400 SEは高効率で信頼性の高い薄膜エッチャーであり、商業エッチングに最適です。高精度のエンジニアリングと直感的なユーザーインターフェイスにより、効率的で高スループットの生産が可能になり、耐久性と高度な診断機能により、一貫したウェーハ品質を実現します。