中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293767403 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体デバイス製造環境で使用するように設計された高度なエッチング/アッシング装置です。Silicon、 Nitride、各種金属など、幅広い基板材料を処理することができる、完全自動化された自己完結型プラットフォームを備えています。システムは必要に応じて他の材料を処理するためにカスタマイズすることができます。エッチャー/アッシャーユニットは、最大6。5インチのサイズの基板を処理する機能を提供する回転可能な基板ホルダーで設計されています。これにより、正確で再現性のある結果を維持しながら、基板の効率的な取り扱いとエッチング処理が可能になります。さらに、回転可能な基板ホルダーは、さまざまなエッチング形状やサイズ、高度なエッチパラメータに対応する柔軟性を提供します。最適なエッチング結果を得るために、ONTRAK TCP 9400 SEには高度なプロセス制御技術が組み込まれています。これには、プロセスパラメータの監視とプロセスの自動最適化が含まれ、最高品質のエッチングが確実に生成されます。それはまた装置の損傷を防ぐために点火検出機械、またオンボードのビデオ表示および制御を特色にします。このエッチャー/アッシャーは、プログラマブルなエッチングシーケンスだけでなく、手動および自動エッチングレートの両方を提供し、最大限のプロセス柔軟性を提供します。さらに、プロセスガスフローと温度は、個々のエッチングジョブの要件に合わせて調整することができます。プロセスガスは、複数のサブバンクを含むマルチヘッドガス供給ツールを使用して制御されます。これにより、すべてのプロセスガスの速度、組成、分布を正確に制御することができます。LAM RESEARCH TCP 9400 SEエッチャー/アッシャーには、統合されたリフトテーブルも含まれています。これにより、基板と汚染廃棄物の両方に容易に積み下ろすことができます。さらに、統合された安全プラットフォームには、運転中の安全を確保するためのさまざまな安全機能が組み込まれています。これには、モデルの故障または停電が発生した場合にエッチャー/アッシャーをシャットオフする自動シャットオフアセットが含まれます。全体として、TCP 9400 SEは、再現性と費用対効果に優れた最高品質の基板を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高度なプロセス制御技術、柔軟なプロセスパラメータ、包括的な安全機能により、半導体デバイス製造業界に最適なソリューションです。