中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293764327 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、エレクトロニクスおよび半導体製造業におけるドライエッチングまたはウェットエッチング処理を行うために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。それは優秀な幾何学および精密な深さ制御を提供するように設計されています、厳密なエッチングパターン制御を可能にします。ONTRAK TCP 9400 SEは、2段階のドライエッチング処理を使用して、より高い精度と低コストでパターンをエッチングする4チャンバーエッチング/灰の装置です。第1段は低圧貯留層エッチング、第2段はプラズマガスとマイクロ波を利用して基板にエッチングし、微細な高アスペクト比エッチングを実現します。このエッチングシステムは、誘電体や金属などの異なる基材にエッチングすることができ、汎用性の高いエッチングツールとなっています。LAM RESEARCH TCP 9400 SEには、高度なファインピッチメトロロジー、マルチゾーニング機能、および複数のインチャンバプロセスレシピが装備されています。計測ユニットは、エッチング深度とオーバーレイ精度を測定する高精度で信頼性の高い方法を提供します。マルチゾーン機能により、大量のアプリケーションのスループットが向上し、チャンバーレシピをプログラムする機能により、カスタムエッチングのレシピが可能になります。エッチングマシンは、統合された基本的なプロセスキャビネットによって管理および制御されます。これにより、ユーザーはプロセスレシピを簡単に設定、監視、調整できます。また、ONTRAK TSCXソフトウェアなどの最先端ソフトウェアとも互換性があり、データの処理、ツールのパフォーマンスのリアルタイム監視、結果のエクスポートが容易になります。さらに、多くのサードパーティの計測システムと容易に接続できます。TCP 9400 SEは、小規模から大規模生産のための理想的なエッチソリューションであり、交換可能なコンポーネント、高速なランプアップ時間、比較的小さなフットプリントにより、メンテナンスを最小限に抑えるように設計されています。OPC-200のクリーンルームガスおよびウェーハハンドリングシステムと完全に互換性があり、環境条件とプロセスの信頼性に対する一貫性を確保します。全体として、LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、幅広いエレクトロニクスおよび半導体製造アプリケーションに最適な高度なエッチング/アッシュ資産です。このモデルは、2段階のドライエッチングプロセスと統合されたファインピッチメトロジーを利用して、ダウンタイムを最小限に抑えた精密なエッチングを実現し、中大量生産に最適なソリューションです。