中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758955 を販売中

LAM TCP 9400 SEは半導体加工に使用するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。耐薬品性に優れたステンレススチールコーティングにより、極めてクリーンで傷のつきにくい性能を実現しています。LAM TCP 9400SEは、相互汚染リスクを大幅に低減する特許取得済みの設計など、複数の静電シールド層を備えています。エッチャーは、高性能の9400Wプラズマイオン源によって駆動され、アプリケーションにエッチングを調整するための幅広いパラメーター調整を備えています。さらに、TCP 9400 SEには、自動化されたコントロールパネルと強力なプロセスジオメトリソフトウェアが含まれており、エッチングとガスの流れを詳細に制御できます。TCP 9400SEには、自動圧力制御、高圧超音波クリーニング、延長メンテナンス間隔、動的温度制御など、いくつかの機能的および安全機能があります。また、ESD安全な絶縁構造を備え、アークオーバーを防止し、オペレータのための安全な作業環境を生成します。オンボード冷却装置は、デバイスを冷却し、耐久性を拡張します。LAM TCP 9400 SEは、デジタルファインダーと照明システムとビデオポートを備えた統合プラテンとクラウドチャンバーを備えています。また、ガスモニターや消火ユニットを内蔵するなど、さまざまな後処理や安全機能にも対応しています。エッチャー/アッシャーは、六フッ化硫黄や塩素などの様々なガスと互換性があり、幅広い精密エッチングおよびガス拡散用途に使用できます。このデバイスのCNC制御マシンは、ジョブの複雑さに関係なく、正確で反復可能な結果を保証します。オンボードソフトウェアは、WindowsとLinuxの両方のオペレーティングツールからアクセスでき、タッチスクリーン付きの包括的なユーザーインターフェイスを備えています。LAM TCP 9400SEはまた、データ転送ポートを提供し、デバイスをPCに直接接続することができます。エッチャー/アッシャーは、アルミニウム、コバルト、シリコンウェーハなど、さまざまな材料に使用できます。このデバイスは、ディープスクラッチ、パターニング、および高エッチング率の最適化が可能であるため、TCP 9400 SEは、幅広い微細加工アプリケーションに最適なソリューションです。