中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758954 を販売中
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LAM TCP 9400 SEは、信頼性の高い精密なエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように特別に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高出力、デジタル制御、直接プラズマスパッタイオン源を使用して、アルミナ、石英、シリコン、ガラスなどの基板の効率的で正確なエッチングとアッシングを提供します。デュアルモードTCP (Transmission Control Protocol)は、高い再現性と精度で正確なエッチングとアッシングを提供します。TCPは、低消費電力、短射撃サイクル、高消費電力、長射撃サイクルの両方を活用して、最大の効率と制御でスループットを確保することができます。このユニットはまた、完全な基板アッシングと最小限の汚染を保証するために、高度なアッシングプロセスを採用しています。デュアルモードのソース制御による高速で高温のアッシング処理により、他のシステムよりも短い時間で完全なグローバル基板アッシングが可能になります。LAM TCP 9400SEは1。25 m3の容積の大きいAshingの部屋が装備され、1700°C。までの温度を達成できます。さらに、ashingプロセスはユーザーによって正確に制御され、純粋な酸素とN2の間の異なった大気組成だけでなく、基質の広い範囲と働くことができます。このマシンは直感的なカラータッチスクリーンを備えているため、エッチングとアッシングのプロセスを簡単に設定および監視できます。タッチスクリーンは、耐薬品性と耐摩耗性の表面で保護されており、エッチングとアッシングソフトウェアは、ツールの操作を簡単かつ簡単にするために非常に直感的です。TCP 9400 SEは、高効率で精密なエッチャー/アッシャー資産です。高出力、デジタル制御、直接プラズマスパッタイオン源と高度なアッシング処理を組み合わせ、高い再現性と精度で精密なエッチングとアッシングを提供します。直感的な色のタッチスクリーンおよび使いやすいソフトウェアはモデルのセットアップおよび操作を容易にし、化学薬品および摩耗抵抗力があるタッチスクリーンの表面は耐久性および長寿命を保障します。TCP 9400SEは、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャー機器を必要とする人にとって理想的な選択肢です。
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