中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758945 を販売中

LAM TCP 9400 SEは、低容量、バッチ処理市場における幅広いアプリケーション向けに設計されたフル機能のエッチャー/アッシャー機器です。最適な液体媒体供給システム、熱放電制御ユニット、統合真空アーム、堅牢な制御装置を備えています。液体メディアデリバリーツールは、ミストパターンを強化し、製品の均一性を向上させ、化学およびウェハメディアの消費を大幅に削減します。このミストパターンはまた、エッチング中に薄い均一な層の均一なカバレッジと高さ制御を提供します。ミストパターンと高さ制御アセットが連携し、効率的で費用対効果の高いアッシングプロセスを提供します。熱放電制御モデルは、温度とプロセスサイクルの範囲にわたって一貫した信頼性の高い結果を保証するために動作します。この制御装置は液体媒体供給システムと同期して動作し、迅速なプロセスサイクルと効率的なスループットを可能にします。統合された真空アームは、エッチングまたはアッシングプロセスを実行する安全な環境を提供することにより、製品の安全性を向上させます。アームは最適に制御された環境を提供するように設計されており、危険な粒子や物質が作業エリアに逃げないようにしています。これは、リーク防止環境を確保するために特別に設計されたダイナミックシールを使用することによって行われます。堅牢な制御ユニットは、高度なオートメーションと制御を提供します。このマシンは位置とプロセス制御を自動化し、リアルタイムのプロセス診断と監視を提供します。自動化と制御ツールは、生産環境をより効率的かつ費用対効果の高いものにし、オペレータの介入を削減します。全体として、LAM TCP 9400SEは強力で効率的なエッチャー/アッシャー資産であり、少量のバッチ処理市場における幅広いアプリケーションのニーズを満たすように設計されています。その最適化された液体メディア配信モデル、熱放電制御装置、統合された真空アーム、および堅牢な制御システムは、最大の出力と生産性のための最適化されたソリューションを提供します。