中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIエッチング装置（別名アッシャー）は、半導体デバイスの製造に使用される高性能、高精度エッチング装置です。特許技術を搭載したTCP 9400 SE IIは、高度な材料とプロセスを使用して、優れた均一性、歩留まり、速度、信頼性を備えた製品を製造しています。このユニットは、スループットを最大化し、所有コストを削減し、複数のプロセスモジュールを単一のプラットフォームに統合するクラスタツール設計を備えています。これらのモジュールは、プリエッチングストリッピングユニット、熱酸化用熱処理室、高品質の有機フィルム成膜用のフォトオーガニック蒸着（POVD）チャンバー、触媒成膜を備えたプラズマエッチングステーション、エッチング前に基板を検査するためのハイエンドロボカメラ機で構成されています。このツールの統合アーキテクチャとユーザーフレンドリーな操作により、ユーザーはすぐに本番環境に移行できます。このツールは、最小限の欠陥と最適な均一性で高品質のエッチング結果を生成するように特別に設計されています。特許取得済みのSmartEtchTMソフトウェアソリューションにより、厚くて薄いフィルム材料を含むすべてのタイプの材料を正確にエッチングでき、歩留まりと再現性が最大限に向上します。LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIの熱処理室は、小さなチップ、繊細な光学コーティング、金属または透明誘電体のエッチングに特に適しています。Photo Organic Vapor Deposition （POVD；フォトオーガニック蒸着）チャンバーを使用することで、高品質の有機フィルム蒸着を実現し、広い領域でも最大限の均一性を実現します。このツールの革新的なプラズマエッチングステーションは、完全に加工されたウェハとプロセスフロー実験の両方に最適化されたエッチングおよび触媒蒸着を可能にします。さらに、カスタムチャンバーを統合することができます。また、TCP 9400 SE IIは、エッチング前に基板欠陥を識別および修正するための優れた検査性を提供するハイエンドロボカメラ資産を備えています。全体として、LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIエッチングモデルは、最高の歩留まり、均一性、速度を提供する高度なエッチング装置をお探しのお客様に最適です。このツールは、高度な材料、プロセス技術、統合アーキテクチャにより、ダウンタイムを最小限に抑えながら優れた結果をもたらし、収益性を高めることができます。