中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIは、幅広いシリコンおよび化合物半導体用途向けに特別に設計されたベンチトッププラズマエッチャーです。この装置は、マイクロセンサー、MEMS、オプトエレクトロニクス部品などのマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための汎用性の高い高性能エッチングソリューションを提供します。これは、ユーザーが簡単にいくつかのスワイプやタップですべての機能を制御することができ、大規模な17 インチカラーLCDタッチスクリーンインターフェイスを備えています。また、非常に広いエッチングウィンドウ（最大12x12インチ）を備えており、複数のウェハレベルとダイレベルを1回の実行で処理できます。TCP 9400 SE IIには電源とホットプレートが内蔵されており、粒子発生を低減しながら優れたエッチング均一性を実現します。また、オンボードの不活性クラスタソフトウェアを備えており、CF4、 SF6、 HCl、 Cl2、 HBrなどの幅広いエッチング化学のエッチング時間と温度比を正確に制御できます。さらに、このユニットには2つの独立したロードロックがあり、高スループットシステムを実装することができます。さらに、シングルステップまたはマルチステップエッチングプロセスをサポートし、より正確なデバイス製造プロセスを可能にします。LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIの安全機能は、露光ガード、不活性ガス安全弁、排気スクラバーなどの安全な動作環境を確保するように設計されています。このツールには、緊急停止やオン/オフスイッチがあり、安全性を維持するのに役立ちます。メンテナンスに関しては、TCP 9400 SE IIは、機器の安全性と性能を定期的にチェックする自己診断モデルを内蔵しているため、ほとんど必要ありません。LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIは、信頼性と費用対効果に優れた高精度エッチングシステムとして高い評価を得ています。堅牢なユニット設計と統合されたソフトウェアおよびハードウェア機能の組み合わせにより、TCP 9400 SE IIはさまざまな材料を安全かつ正確にエッチングするための理想的なプラットフォームとなります。