中古 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9158145 を販売中
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販売された
ID: 9158145
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6"
Chamber assembly: x2 LL, Proc chamber
Monitor type: LCD
Signal tower: (3) Colors
Pres control: Automatic
Chuck type: Mechanical
RF Generator: RFG 1250
Turbo: EDWARDS A2203C
Gasbox channel: (8) Channels
Series 65 pendulum valve
(2) Gas rings with ceramic insert
Quick clean chamber liners
Dynamic offset ESC power supply and minimatch upgrade
Quick clean endpoint windows
EPROM upgrade for the VAT valve (no preset requirements)
EPROM upgrade for the TCP digital match controller (ISI controller)
Quartz edge ring (greater MTBC)
Currently de-installed.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE IIは、高度なユーザーと確立されたユーザーの両方のために設計された強力なエッチャー/アッシャーです。優れた精度とスピードを誇るこの機器は、さまざまな高度な機能と機能を備えています。高性能RFジェネレータは、迅速で反復可能なエッチングを提供します。使いやすいタッチスクリーンコントロールパネルを使用すると、エッチングパラメータを最小限の労力でプログラムして監視できます。システムに組み込まれた高度なアルゴリズムにより、複数の基板にわたる前例のないレベルの再現性が可能になり、あらゆる材料で一貫したエッチプロファイルが保証されます。個々の実行詳細データロギングに加えて、ユニットは過去10回までログを記録し、プロセスの一貫性を確保し、エッチングプロセスに関する貴重な洞察を提供することができます。また、危険性の高いエッチングガスを含有するように設計された特別設計の安全チャンバーを備えており、ユーザーと環境の両方を露出から保護します。同様に印象的なのは、精密計測機能の堅牢なスイートであり、エッチング結果を分析および監視して精度と再現性を保証することができます。TCP 9400 SE IIは、最も要求の厳しいエッチングアプリケーションでも精度と速度で処理するように設計された強力なエッチャー/アッシャーソリューションです。直感的なソフトウェアプラットフォーム、高度な安全機能、信頼性の高い計測機能により、確立されたユーザーと意欲的なユーザーの両方にとって理想的なソリューションです。この高性能ツールは、個々の基板または非常に複雑な構造をエッチングするかどうかにかかわらず、毎回一貫した信頼性の高いエッチングを提供するように設計されています。
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