中古 LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056 を販売中

LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIEは、高精度基板の量産に特化したエッチャー/アッシャー装置です。このシステムはツインカスケード式の3レベル（TC3）蒸着ユニットを備えており、素早く正確な基材調製が可能です。TC3機械は窒化物、二酸化ケイ素、窒化チタン、窒化アルミニウムなどの様々な材料の均一な堆積を提供します。このツールには、19インチ×27インチの深部メインチャンバーが装備されており、すべての堆積作業が屋内で行われます。層のエッチング率と均一性を制御するチラーキャビネットは、資産に含まれており、最大12カセットの位置を保持することができます。カセットポジションは、プロセスで使用されるガスの流れと量、およびプロセスの期間を制御することによって、特定のエッチング速度を提供するために調整することができるドラムセレクターを介して選択することができます。位置は、コーティングの均一性を最大化するために八角形のパターンで配置されています。このモデルには、フッ化水素酸とオゾンを使用した統合されたコンピュータ制御のエンドオブラン洗浄装置も装備されており、基質が清潔で汚染されていないことを保証します。このシステムは非常に汎用性が高く、酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウムおよび窒化チタン、酸化ケイ素、窒化タングステンおよびタンタルなどの耐火材料を含むさまざまな材料を堆積するために使用することができます。LAM TCP 9400 DSIEは、厚さ、エッチング速度、均一性を正確に制御する自動フィーダで構成できます。このユニットには、材料の沈着速度を監視するパーティクルモニターと、基板の機械的精度を維持するためのたわみアセンブリも含まれています。ユーザーフレンドリーなメニュー駆動ソフトウェアも含まれており、マシンの簡単なセットアップ、操作、メンテナンスを提供します。このツールは、大量製造において非常に効率的で経済的であり、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、自動車など、さまざまな技術で使用できる基板を製造することができます。LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIEは、さまざまな機能を備えており、大量生産で高品質のエッチングとアッシャーを必要とする人に最適なソリューションです。