中古 LAM RESEARCH STRIP45 #9284283 を販売中

LAM RESEARCH STRIP45は、さまざまな半導体プロセスで使用されるように設計された高速で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。それは繊細な装置構造の非常に精密な処理を可能にする高度の、モジュラー技術の単一のプラットフォームシステムです。STRIP45には、材料エッチング、表面洗浄、SiO2サイドウォールエッチング、金属エッチングプロセスなど、幅広い用途に対応できるさまざまな機能があります。LAM RESEARCH STRIP45は、高い生産性と柔軟性を実現する最先端のハードウェアを搭載しています。4インチのi-line/DUV、 DUVホットプレート、200mm a-line/DUV、 Uni-programmable 50チャンバーを備えています。各チャンバーは、さまざまなガスの流れ、圧力、温度、流量構成でカスタマイズできます。さらに、低温、低真空、ソリッドステートエッチング機能も利用できます。STRIP45には、カスタマイズ可能なプロセスレシピ、データロギング、アラーム監視コンポーネントを提供するソフトウェアも付属しています。これにより、ユーザーは特定のエッチングまたはアッシングプロセスのステップバイステップのシーケンスを開発できます。各ステップには、正確な処理のためのガス流量、圧力、温度、流量仕様が含まれます。レシピベースのプロセス開発により、トライアル、最適化、生産実行も簡単に実行できます。LAM RESEARCH STRIP45は、8500ワットのソニックパワーと強力で低温、低真空、プラズマ源を備えた優れた洗浄性能を提供します。それは0。39 Torrの安定した圧力および部屋の10から140°Cの温度を維持している間光有機化合物を取除くことができます。STRIP45はまた有害なガスへの偶発的な露出から人員および材料を保護する優秀な安全機能を備え、クリーンルームの環境の騒音を最小限に抑えて作動するように設計されています。このシンプルでメンテナンス性の低いエッチャー/アッシャーは、多くの半導体アプリケーションに最適で、迅速なサイクルタイムと工具効率の向上によりコスト削減を実現します。