中古 LAM RESEARCH STRIP45 #9244860 を販売中

LAM RESEARCH STRIP45は、超浅い接合部の形成、腐食防止、誘電体の除去など、重要なエッチングおよび洗浄プロセスに使用される高性能モジュラーエッチングツールです。半導体業界の銅ビアおよびダマシン用途に特に適しています。高度なRF電源システム、特大クォーツチャンバー、ワンピースプロセスローディング、マルチレベルトポコントロール、および複数の独立したプロセスモジュールなど、強力で汎用性の高いエッチング装置を実現する多数の機能が搭載されています。これらの機能は、最高品質のエッチング結果を生成する際にユーザーエクスペリエンスを容易かつ効率的にするために組み合わされます。STRIP45エッチングユニットには、幅広い機能やアクセサリーを搭載し、最適な性能を発揮します。それはより大きい区域にエネルギーを均等に配り、エッチングの均一性を高めることを可能にする独自のRF力機械を使用します。また、大型の石英チャンバーを内蔵しており、基板とロードロック間の熱伝達を最小限に抑え、粒子汚染を低減します。簡単なローディングのために、このツールはシングルピースのプロセスローディング機能を使用しており、最大2000個のウェーハを処理できます。マルチレベルのトポコントロールにより、ツール内のウェーハの正確なエッチングと移動を可能にし、均一性を保ち、欠陥レベルを下げます。さらに、異なるエッチングおよびクリーニングアプリケーションには、複数の独立した処理モジュールが利用可能です。最高の精度と信頼性を確保するために、LAM RESEARCH STRIP45エッチング資産には、さまざまな高度な制御および監視システムが装備されています。これらには、Eチャンバ圧力モニタ、ダイナミックモデルスキャナ、自動ウェハオリエンテーションチェッカーが含まれます。これらの機能により、ユーザーはエッチングプロセスを正確に監視および調整し、温度、時間、エッチング化学、電力などの変数を調整して、可能な限り最良の結果を達成することができます。さらに、機器はLAM RESEARCH ETCHVISION™コントローラとソフトウェアと統合されています。これにより、ユーザーはエッチング処理をリアルタイムで監視し、強力なデータ分析とレポート機能を提供します。全体として、STRIP45は最小限の労力と労力投資で優れた結果を達成することができる高度なエッチングシステムです。高度なRFパワーと制御を活用することで、信頼性と再現性をユーザーに提供します。高度な制御技術とレポート機能を活用することで、オペレータは歩留まりを最大化し、サイクルを削減するためにエッチングプロセスを最適化することができます