中古 LAM RESEARCH SEZ 323 #293658166 を販売中

LAM RESEARCH SEZ 323
ID: 293658166
ウェーハサイズ: 12"
Spin etcher, 12".
LAM RESEARCH SEZ 323は、重要なフォトマスクエッチングおよびアッシングアプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された高精度のエッチング/アッシュプロセス装置です。このシステムには、4レーン、ホイールトラッキングロボット、空気圧ノズル、多軸エッチング/アッシュヘッドなどの高度な機能が装備されています。最小膜厚0。5ミクロンの繊細なフォトマスクのエッチング/アッシングに最適です。機械はまた、エッチング/灰プロセスが化学的または機械的事故から保護されることを保証するために、複数の安全機能を備えています。内蔵の安全装置には、ガス検出ツール、真空プロセス安全弁、および蓋の安全スイッチが含まれます。さらに、アセットの制御モデルには、ロックアウト/タグアウト機器と緊急停止ボタンが内蔵されています。このシステムは、1時間あたり最大30個のフォトマスクの高いスループットを誇っています。多軸エッチング/アッシュヘッドは、4つのフォトマスクを一度に処理することができ、効率的で費用対効果の高い生産ソリューションを提供します。高度なロボットは、均等に分散したエッチング/灰プロセスを可能にする4レーンのホイールトラッキングユニットを備えています。さらに、空気圧ノズルを使用して、手動接触による損傷のリスクを低減します。このツールは、既存の生産ワークフローに簡単に統合できるように設計されており、操作と診断が容易なユーザーフレンドリーなソフトウェアが装備されています。このソフトウェアはさまざまなカスタマイズオプションを提供しており、ユーザーは設定を特定の要件に合わせて微調整することができます。さらに、フィルター、ノズル、リフレクターなど、エッチング/灰プロセス用の幅広いアクセサリーも含まれています。SEZ 323は、優れた性能と卓越した品質を提供する、信頼性の高い高度なエッチング/灰モデルです。この装置は、精度と信頼性を必要とするフォトマスクエッチング/アッシングアプリケーションに最適です。複数の安全機能と高度な機能を備えたこのシステムは、高精度なアプリケーションに効果的なソリューションを提供します。
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