中古 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9389854 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 9600は、強力な高周波RF（無線周波数）プラズマ源を利用したエッチャー/アッシャーです。Rainbow 9600は、最大200ワットのプラズマ電源と、最大400 mm x 300 mmの基板を処理できる50立方フィートの作業量を備えています。独自の設計により、プロセスの再現性や基板スループットを損なうことなく、1つのレシピで同じ基板上のエッチングやクリーニングなど、さまざまなプロセス形状を実行できます。この高度なエッチャー/アッシャーは、再現可能なプロセスと優れた基板歩留まりのための基板準備とプラズマ形成を自動化する統合バッチプロセス機能を備えています。LAM RESEARCH Rainbow 9600には、さまざまな温度および大気条件で基板を格納できるロードロック装置があり、バッチプロセス全体にわたってプロセス条件が維持されます。さらに、システムの絶対圧力制御機能は、プロセスの変動を最小限に抑え、最終製品の歩留まりと品質問題のリスクを大幅に低減します。また、独自のRF （Radio Frequency）ジェネレータを搭載し、安定した一貫したエッチングと洗浄性能を実現しています。プラズマ内の焦点イオンは基板表面に付着しますが、プラズマは均一で、ガス流量などのプログラマブルなパラメータで高度に調整可能です。レインボー9600エッチャー/アッシャーは、安全と環境保護を念頭に置いて構築されています。シングルフランジ排気装置を搭載しており、運転室からの有毒ガスの効率的な輸送を可能にし、危険な排出を低減します。さらに、このツールには7つの標準ガスがあり、すべてNFPA認証および環境規制と互換性があります。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 9600エッチャー/アッシャーは、高周波RF（無線周波数）プラズマソースと包括的なプロセスパラメータ調整により、優れた基板性能とスループットを提供します。その安全性と環境保護機能は、高品質の基板の生産のための理想的で信頼性の高いツールになります。