中古 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9173006 を販売中
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ID: 9173006
Lot of spare parts:
Qty Part number Description
(2) - MFC H2O Vapor 1 slm with Controller
(2) 853-491530-002 ESC Power supply assembly (810-017086-008 & 810-370182-001)
(2) 853-015763-001A Assy limit switch
(1) - MFC Ar 100 sccm
(1) - MFC O2 200 sccm
(15) 810-017031-004C ADIO Board rev C
(1) 810-017050-002C ADIO8 Board
(1) 853-032190-306E TCP Assy upper match, fixed gap
(1) 853-015130-204C Assy RF Match EXT range
(1) 515-025756-001 Paddle calibration tool
(1) 515-012168-00X Arm calibration disc
(1) 515-012169-001 Wafer centering tool
(1) 795-008885-001 Optical sight
(2) 515-009821-001 Lock pins
(1) 715-010213-003 Edge sensor calibration tool
(3) 515-097217-001 Nonmetalic driver
(3) 515-099329-001 Retaining ring pliers.
LAM RESEARCH Rainbow 9600は、高度なエッチングと加工のための生産性とプロセス制御を強化するエッチャー/アッシャーです。この装置は、コンパクトなフォームファクタで高度なエッチングプロセスを提供することができます。プロセスの汎用性が向上し、スループットが向上し、プロセス全体の制御が向上するように設計されています。Rainbow 9600エッチャー/アッシャーは、プロセスの柔軟性と生産性に優れたコンパクトなシングルウエハ設計です。業界をリードするダイレクトドライブタレットチャックとスピンドルを使用して、迅速なウェーハアライメントとスループットの向上を実現します。このシステムは、ロードロックおよびエッチングチャンバー構成を最適化するための2チャンバ構成を備えています。また、特許取得済みの加工技術を搭載し、プロセス制御を強化しています。これには、最大6つのエッチングパラメータをエッチングできる無電解めっきプロセスが含まれています。LAM RESEARCH Rainbow 9600はまた、動的ウェーハ計測機能を備えており、エッチング時のウェーハ解析を向上させます。また、高速ローディングにより処理を高速化し、スループットを向上させます。Rainbow 9600エッチャー/アッシャーは、エッチングとプロセス制御のための高度なソフトウェアも提供します。包括的なユーザーインターフェイスと強力なデータ分析ツールが含まれています。このソフトウェアは、ユーザーがプロセスの信頼性を向上させるために、エッチングおよび処理パラメータをカスタマイズできるさまざまなインタラクティブ制御機能も備えています。LAM RESEARCH Rainbow 9600エッチャー/アッシャーは、セキュリティとデータ保護も強化されています。高度な暗号化と認証プロトコルを提供する統合セキュリティツールが装備されています。また、ローカルプリント管理アセットと、簡単なセットアップとデータ管理のための安全な外部メモリコネクタが付属しています。Rainbow 9600エッチャー/アッシャーには、フルテクニカルサポートを含む幅広い高度なサポートオプションが付属しています。このモデルには、包括的な保証カバレッジとメンテナンスパッケージが付属しており、安心してご利用いただけます。結論として、LAM RESEARCH Rainbow 9600エッチャー/アッシャーは、プロセス制御とスループットを向上させるように設計された高度なエッチングおよび加工装置です。コンパクトで汎用性が高く、信頼性を高めるためのさまざまなプロセスパラメータとセキュリティ機能を提供します。統合されたソフトウェアとサポートパッケージは、高度なエッチングおよび処理アプリケーションに最適です。
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