中古 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176780 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4XXXシリーズは、高度なデバイスプロセス技術の厳しい要件を満たすように設計されたエッチャー/アッシャーです。このシリーズは、LAMの実証済みの特許技術に基づいた高度なRF処理を備えており、高い耐久性と性能により、高い信頼性と費用対効果の高い生産プラットフォームを提供します。Rainbow 4XXXシリーズは、半導体製造における最新のエッチングおよびアッシング機器技術との互換性を備えた製品群を含んでいます。すべてのモデルは、可変パルス電流発生器、マルチチャンバーオートメーション、およびさまざまなクリーニングおよびプリプロセス機能を備えた中央処理ユニット（CPU）を備えています。特に4563モデルは、アルゴンの圧力速度で1。5mb以下の変動をサポートしながら、処理中に1。0ミリバー未満のガス圧力を維持するように設計された超薄型ガスセル壁の設計を特徴としています。また、高度なRFシステムにより、正確なプロセス最適化を保証する高度なプロセス制御により、高精度が期待できます。LAM RESEARCH Rainbow 4XXXシリーズは、従来のデバイスの2倍の生産性を実現するために、クリーンで高速かつ大幅にドープされたプロセスを提供するように設計されています。このシリーズは、高度なプロセスのためのカスタム定義されたレシピ設定だけでなく、標準の両方をサポートしているため、ユーザーに柔軟性を提供します。また、高速なランプアップ、短いプロセスサイクル、小さなクリーニングサイクル、追跡可能なプロセスパラメータを単一のセットアップでサポートし、再現性を向上させます。さらに、このシリーズは、プロセスパラメータを監視し、異常を検出する堅牢な安全機能を備えています。さらに、Rainbow 4XXXシリーズは拡張可能であり、デュアルチャンバー動作、高度なプロセス最適化（APO）、ガス/リアクタント混合制御を可能にし、ユーザーが生産ラインを合理化し、生産性を向上させることができます。さらに、LAMのカスタマーサポートと専用サービスエンジニアが迅速なサポートとトラブルシューティングを提供し、最大限の稼働時間と満足のいく結果を保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4XXXシリーズは、信頼性の高い高速プロセス、プロセス最適化のための機能、および高度な安全機能を必要とする製造者のための強力なツールです。このシリーズは、ユーザーにバッチ実行、アクセス可能で信頼性の高いサポート、および処理ニーズを確実に満たすための柔軟性をカスタマイズする機能を提供します。